熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息。近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用得醉多也醉廣泛。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測(cè)量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。
 

　　對(duì)于一些物質(zhì)來(lái)說(shuō)，產(chǎn)生熒光的能力是非常弱，以至一些普通探測(cè)器都無(wú)法響應(yīng)。為了使熒光光譜儀能夠接收到更多的熒光，往往采用以下幾個(gè)措施：
 

　　1、提高激發(fā)光的強(qiáng)度：可以用激光器來(lái)代替鹵素?zé)粼矗す馄鞯墓β拭芏韧塞u素?zé)舾叩亩唷Ｊ褂迷摲椒ǎ鶕?jù)激光器功率的不同，熒光有幾倍到幾個(gè)數(shù)量級(jí)的提高。但是該方法受實(shí)驗(yàn)室條件限制，并不是任何時(shí)候都是可行的，同時(shí)，紫外波段的激光器價(jià)格比較昂貴。
 

　　2、提高探測(cè)器的光收集效率：可以在其它幾個(gè)方向上放一些反射鏡，把這些方向上的熒光反射到探測(cè)器上。使用該方法，可以使收集到的熒光增加幾倍到十幾倍。
 

　　3、改進(jìn)光譜儀：熒光分析基本上都是通過(guò)光譜儀、分光光度計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)，進(jìn)入光譜儀、分光光度計(jì)的光通量受限于這些儀器的狹縫尺寸。我們可以增大狹縫尺寸，來(lái)提高進(jìn)光量。但是，狹縫尺寸的增大，是以犧牲波長(zhǎng)分辨率為代價(jià)，因此不能無(wú)限制的增加狹縫尺寸。提高光譜儀、分光光度計(jì)里面的各種反射鏡、光柵對(duì)光的反射效率，也是增加探測(cè)器接受更多熒光的有效方法之一。