等離子體微型光譜儀要是線狀譜和連續譜。線狀譜是等離子體中的中性原子、離子等由其高能級的激發態躍遷到較低能級時所產生的，單個粒子發射的譜線強度主要決定于:①原子或離子的外層電子處于上能級的幾率,②這種電子從上能級躍遷到下能級的躍遷幾率，③光子在逸出等離子體之前被再吸收的幾率。但微型光譜儀的譜線的總強度與電子和離子的密度和溫度有關，每條譜線有它自己的強度分布規律,因此從譜線強度的測量,結合理論模型和上述光譜中的原子數據，可以得到電子、離子的密度、溫度等信息。根據多普勒效應，從微型光譜儀的譜線波長的移動可確定等離子體的宏觀運動速度。連續譜是電子在其他粒子的勢場中被加速或減速而產生的。從連續光譜強度的測量，也可得到電子密度、溫度等數據。

　　

　　測量等離子體的輻射，如譜線強度、譜線輪廓以及譜線的分裂、位移等后，就可以得到等離子體的一些參量，如等離子體成分、溫度、密度等。這方面的工作構成等離子體微型光譜儀，是等離子體診斷學的一個重要組成部分。